全自动台阶仪

全自动台阶仪JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

产品特色

纳米级测试精度，标准偏差0.5nm以内

可测样品厚度范围0-10mm；超出可定制

操作流程直观，软件紧密贴合客户需求，上手更快

仪器结构模块化设计，安装维护简易快捷

大行程超平面扫描技术（行程55mm，平坦度优于20nm）

超微压力，恒定控制（探针压力0.5~50mg）

大带宽大行程，纳米微动台技术（行程80um，分辨率0.05nm，带宽10KHz）

产品优势

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比

应用领域

刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量

薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量

各式薄膜等应力测量

3D扫描成像

计划任务和多点扫描

批量测试晶圆，批量处理数据等

应用示例

18nm样品扫描图

68um样品扫描图