半自动台阶仪

半自动台阶仪JS100B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域，拥有高精度、高分解能，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。

产品特色

纳米级测试精度，标准偏差0.5nm以内

可测样品厚度范围0-10mm；超出可定制

操作流程直观，软件紧密贴合客户需求，上手更快

仪器结构模块化设计，安装维护简易快捷

大行程超平面扫描技术（行程55mm，平坦度优于20nm）

超微压力，恒定控制（探针压力0.5~50mg）

大带宽大行程，纳米微动台技术（行程80um，分辨率0.05nm，带宽10KHz）

产品结构

产品优势

稳定的重复性

1um标准样品30次扫描偏差极值小于10nm，准确度（1σ）小于0.5nm。

实时观察扫描区域

金刚石针尖

无畸变的观察样品区

应用领域

半导体、太阳能、LED、光电子、生物医学器件、MEMS、薄膜化学、图层、平板显示、触摸屏、材料学

应用示例

测金属片

测膜厚

测电极