在过去的几年中，臭氧在半导体工业的应用越来越受到重视，特别是在晶圆清洗过程。在半导体行业，清洁度是一个绝对的要求。即使是很小的污染物痕迹也会导致晶圆表面区域结构的改变。自80年代末以来，在芯片生产中采用臭氧的..

近年来，在半导体工业中，逐渐确立了将臭氧运用于晶圆清洗工艺中，这主要是利用了臭氧在水相中氧化有机污染物和金属污染物的性能。臭氧在半导体工业中的应用主要包括了：●湿法清洗●干法清洗●CVD化学气相沉积●疏水性●..

在半导体工业中，“绝对清洁”的要求扩展到设备（臭氧发生器，接触到的设备），这意味着不会产生颗粒，没有金属，离子或有机污染物。目前德国ANSEROS安索罗斯的臭氧发生器以及其他的臭氧处理系统已经可以“绝对清洁”的要求。..

持续监测污水处理厂的废水时，可以明显看到某些有机物质在积累。这些物质包括：抗生素、细胞毒素药物、β受体阻滞剂、镇痛剂、降脂剂以及X射线造影剂。一些研究报告表明，只有臭氧能够去除这些有问题的微量物质，而且能使..

臭氧老化，即臭氧对人造橡胶中的碳碳双键攻击并造成材料破坏，使其表面产生裂纹。橡胶件如：绝缘电缆、密封件和轮胎等都会因此而老化。氯丁橡胶的耐大气老化性能在通用型橡胶中仅次于乙丙胶和丁基橡胶，远优于天然橡胶，氯..