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MEGAGEN系列COM-VD

德国ANSEROS安索罗斯臭氧发生器MEGAGEN系列COM-VD在半导体加工等方面发挥重大作用。

特 点
适用于电子元件臭氧清洗,晶圆清洗
ANSEROS安索罗斯臭氧发生器图片
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MEGAGEN系列COM-VD产品详情

MEGAGEN系列COM-VD技术参数

类型单位COM-VD-08COM-VD-16COM-VD-24
臭氧容量g O3/h60120180
最大臭氧浓度g O3/Nm3300300300
最小臭氧浓度g O3/Nm3150150150
臭氧气体压力输出bar (g)<2.9
最小氧气消耗量Nm3/h0,20,40,6
电功率kW0,61,21,8
电源VAC /Hz230/50-60/1 phase
能效kWh/kg O3101010
AOPR评级,
动力
kg O3/(bar *h* m3H2O)10 ... 500
冷却液,目标温度m3 /h283 K0,10,20,3
外形尺寸mm高280*宽562*长603 mm
标准重量kg415062

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